【东方晶源】计算光刻“独角兽”东方晶源开启上市辅导，拟科创板IPO

近日，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司（以下简称“东方晶源”）在北京证监局进行上市辅导备案，或将登陆科创板。报告显示，该公司辅导期至今年12月，辅导机构为中信建投。

作为高科技产业，东方晶源自成立起就受到资本青睐。据悉，东方晶源自2014年创立至今，已完成C轮融资，股东序列中包括深创投、亦庄国投、兴橙资本、松禾资本、基石资本、金浦资本等知名机构，外媒称东方晶源估值约80亿元，已符合行业独角兽规模。

目前，东方晶源核心产品包括计算光刻产品（OPC）、电子束缺陷检测设备（EBI）以及关键尺寸量测设备（CD-SEM）。此前公司曾获三项02国家重大专项支持，是国家级专精特新“小巨人”企业。据官网显示，公司迄今共申报国内外发明专利191项，授权发明专利67项，软件著作权15项。

作为国内计算光刻技术领域“独角兽”企业，东方晶源多款计算光刻产品研发已获进展并陆续进入验证期，其中PanGen是国内首款且成功在国内主流逻辑和存储Fab先进制程节点进行量产应用的OPC软件。

此外，除计算光刻软件产品，东方晶源三款电子束检测、量测设备，已经过产线验证并进入量产。并且公司推出的12英寸EBI和12英寸、6/8英寸CD-SEM，均为国内首台。

据7月发布信息称，其电子束缺陷检测设备EBI已进入28 nm产线，全自动量产超过2年，运行时间超过90%，设备使用率超过80%，电子束图形分辨率、最大视场、关键缺陷抓取率等关键指标已达到行业主流水平。12英寸、6/8英寸关键尺寸量测设备CD-SEM可支持Line/Space, Hole/Elliptic，LER/LWR等多种量测场景、满足多种成像需求。目前，该公司CD-SEM此前已向中芯国际、燕东微完成交付。

来源：光电汇